일정한 에너지를 가지는 X선(광자)을 시료에 쬐면 시료로부터 광전자(photoelectron)들이 방출되는데, 이 광전자들의 운동 에너지를 측정하면 광전자가 시료로부터 방출되기 위해 필요한 에너지인 binding energy를 알 수 있음
EDS나 EPMA로 측정 불가능한 시료 표면으로부터 100Å 이내 깊이에 관한 정보를 얻을 수 있는 표면 민감성 분석장비
뿌리장비 예약
장비 상세정보
장비사진 | 장비명 | 전자분광 화학분석기 (ESCA) 업그레이드(Electron Spectroscopy for Chemical Analysis) | ||
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제작사 | Thermo fisher scientific | 모델명 | ESCALAB 250Xi | |
NTIS | NFEC-2014-12-194086 | E-TUBE | 1412-B-0170 | |
장비분류 | 분석장비 | 기술분야 | 표면처리 | |
보유센터 | 시흥뿌리기술지원센터 | 장비상태 | 정상 | |
구축일 | 2014-12-09 | 구축비용 | 806,387,202원 | |
수수료 | 100,000원/hr | 바우처 사용 | 사용가능 | |
담당자 | 손양수 | 연락처 | ||
매뉴얼 |
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주요사항
원리 및 특징
원리: X선 광자의 여기에 의하여 시료로부터 방출되는 광전자의 에너지를 검출하여 표면 원소의 화학결합 상태를 분석함
특징: 고감도 고분해능, 정량이미지 모드, 고속 자동화 분석가능
특징: 고감도 고분해능, 정량이미지 모드, 고속 자동화 분석가능
사용예
일반적으로 정량화에 많이 사용되는 EDX 및 EPMA의 분석 깊이(약 3~10um)에 비하여 전자분광 화학분석기의 분석깊이는 10nm 이내로 극표면의 분석이 가능하며, 깊이 방향 분석도 가능함. 특히, 기타장비와는 달리 화학결합을 분석할 수 있음. 이 를 활용 뿌리기업의 표면불량원인 분석 및 선진사제품 reverse engineering 등이 가능함
반도체, 액정, PDP, OLED, 형광체, 광전자, 고분자, 화학, 재료등의 물질 개발 부 문과 분석화학 등의 다양한 분야에서 활용이 가능함
반도체, 액정, PDP, OLED, 형광체, 광전자, 고분자, 화학, 재료등의 물질 개발 부 문과 분석화학 등의 다양한 분야에서 활용이 가능함
활용분야
• Electron analyser with Lens system - Ultimate energy resolution : <0.45eV - sensitivity : > 1,000,000 cps (@0.6eV)
• Monochromator X-ray source - Type : Micro-focused monochromator source - Analysis area < 20 ~ 900μm - Ultimate spatial resolution : <3μm
• UHV Analysis chamber - Material : 100% mu-metal chamber or equivalent - Ultimate vacuum : 5 x 10-10mbar or equivalent - Pump : Turbo molecular pump, Titanium sublimation pump
• Preparation chamber with Fast entry air lock - Complete with sample transfer mechanism and vacuum gauges - Ultimate vacuum : 5 x 10-8mbar or equivalent
• Monochromator X-ray source - Type : Micro-focused monochromator source - Analysis area < 20 ~ 900μm - Ultimate spatial resolution : <3μm
• UHV Analysis chamber - Material : 100% mu-metal chamber or equivalent - Ultimate vacuum : 5 x 10-10mbar or equivalent - Pump : Turbo molecular pump, Titanium sublimation pump
• Preparation chamber with Fast entry air lock - Complete with sample transfer mechanism and vacuum gauges - Ultimate vacuum : 5 x 10-8mbar or equivalent