○ 레이저 본체 사양

- 빔 광원 : HeNe 레이저 및 발광 다이오드(LED)(클래스 2M)
- 빔 출력(최대출력) : < 1 mW(4개의 빔 합계)
- 작동 모드 : 연속파(HeNe)/펄스형(LED)
- 공칭 레이저 빔 직경 : 3mm
- 레이저 파장 : 633 nm 및 655 nm
- 예열 시간(수신기 및 레이저 전원공급 후 측정시간) : 45분
- 최대 속도 : 1m/s

○ 리니어 측정
- 측정 정확도 : ±0.5ppm (환경보정적용)
- 분해능 : 1nm
- 측정범위 : 0~4m

○ 앵귤러(피치/편요각)
- 정확도 :0.004A±(0.5 0.004A ±(0.5 μrad +0.11M μrad)
(A = 표시된 오차 판독값) (M = 측정 거리, m)
- 분해능 : 0.03μrad　　
- 측정범위 :±500μrad

○ 진직도
- 측정정확도 : 일반범위 ±0.01A±1um, 확장범위 ±0.01A±1.5um
(A = 표시된 오차 판독값)
- 분해능 : 0.25um
- 측정범위 : 일반범위±50um 반경, 확장범위±250um 반경

○ 롤
- 정확도 : ±0.01A±6.3μrad (A=롤 오차μrad)
-분해능 : 0.12μrad
-측정범위 :±500μrad

- 정밀 제조 기계의 선형변위오차(거리오차), 진직도오차, 롤/피치/요 각도오차를 동시에 측정하여 신속하게 장비의 이송성능을 평가하고 오차 원인을 분석할 수 있는 6자유도 동시측정 레이저 측정기
- 레이저 소스와 다종 광학계, PSD 구성에 의해 6자유도 측정이 가능한 특징
- 마운팅 키트가 있어 공작기계 및 다축 이송계에 본체를 쉽게 마운팅 가능함

- 6자유도 레이저 측정기를 활용하여 다축 공작기계/로봇/CMM의 개별축(X, Y, Z) 혹은 구동 방향 이동을 측정함
- 측정된 데이터를 활용하여 장비 정밀도 보정에 활용
- 측정된 데이터를 활용하여 장비의 선형변위오차, 진직도, 롤/피치/요 오차 진단 및 성능평가
- 난삭재 가공 공작기계의 장비 거동 확인 가능

○ 공작기계, CMM, 산업용로봇, 정밀 스테이지 등 산업용 다축 구동계의 위치 정밀도 평가 및 오차 분석에 활용
- 첨단소재 및 난삭재 가공 전/중/후의 장비 이송계의 정밀도 평가 및 가공오차 분석에 활용
- 가공시스템, 정렬시스템, 검사장치 등의 조립/설치 시에 발생하는 이송계의 오차 측정 및 정밀도 캘리브레이션 등에 활용