1. 터치스크린 조작만으로 가속 조건을 조정하여 단면 가공을 할 수 있어야 하며, 실시간으로 가공 영역을 확인 할 수 있도록 Monitoring 장비가 본체에 내장되어 있어야 한다.
2. 시료의 가공 위치를 정밀하게 설정할 수 있도록 고 정밀 CCD Camera가 본체에 장착되어 있어야 한다.
3. 기계 연마가 불가능한 연성 소재(Copper, Aluminum, Gold, Solder and Polymer etc) 나, Ceramic, 다이아몬드 등 가공이 어려운 초 고경도 소재의 단면 가공을 할 수 있어야 한다.
4. 아르곤 빔을 이용하여 시료의 단면을 가공하고 이를 전자현미경에 장착하여 가공영역을 확대하여 관찰 할 수 있도록 필요한 인터페이스를 지원해야 한다.
5. 진공 조절, Ar beam 조정, 가공 조건, data 입력 등을 터치스크린으로 조정할 수 있어야 한다.
6. 기존 가공조건의 저장 및 저장된 조건을 다시 불러들이는 기능을 가지고 있어, 동일한 조건의 시료의 단면 가공이 용이하여야 한다.
뿌리장비 예약
장비 상세정보
| 장비사진 | 장비명 | 접합부 단면 이온가공기(Joint cross-section ion miller) | ||
|---|---|---|---|---|
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제작사 | JEOL LTD. | 모델명 | IB-09020CP |
| NTIS | NFEC-2015-06-202953 | E-TUBE | 1505-C-0115 | |
| 장비분류 | 분석장비 | 기술분야 | 용접 | |
| 보유센터 | 시흥뿌리기술지원센터 | 장비상태 | 정상 | |
| 구축일 | 2015-05-27 | 구축비용 | 171,481,443원 | |
| 수수료 | 60,000원/hr | 바우처 사용 | 사용가능 | |
| 담당자 | 이소정 | 연락처 | ||
| 매뉴얼 |
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주요사항
원리 및 특징
All touch operation, 500um ion beam, 500um/h milling speed, +/- 30 degree swing angle during milling condition, Integrated high precision CCD camera for sample positioning, Integrated CCD camera for real time monitoring etc.
사용예
알루미늄 합금 용탕의 수소함량 측정
활용분야
? 주요특성 : All touch operation, 500um ion beam, 500um/h milling speed, +/- 30 degree swing angle during milling condition, Integrated high precision CCD camera for sample positioning, Integrated CCD camera for real time monitoring etc.
1. Ion accelerating voltage : 2 to 8 kV or better
2. Ion-beam diameter : 500 um(full width at half maximum) or more
3. Milling speed : 500 um/h or higher
4. Maximum specimen size : 20mm(W) x 12mm(L) x 5mm(T) or larger
5. Specimen movement range
1) X-axis : +/-10 mm or more
2) Y-axis : +/-3 mm or more
6. Specimen-rotation angle adjustment range : +/- 5° or more
7. Specimen Swing Angle : +/-30° or more, during milling condition
8. Operation : Touch panel
9. Positioning for milling : Position check with CCD camera
10. Positioning camera : ~ x1,000 mag. or more, should be integrated on the main body
11. Monitoring camera : ~ x100 mag. or more, should be integrated in the main body
12. Gas : Argon (Flow rate controlled by mass-flow controller)
13. Pressure measurement gauge
14. Main evacuation pump : Turbo-molecular pump
15. Backing pump : Rotary pump
16. Auto function : Auto start & stop
1. Ion accelerating voltage : 2 to 8 kV or better
2. Ion-beam diameter : 500 um(full width at half maximum) or more
3. Milling speed : 500 um/h or higher
4. Maximum specimen size : 20mm(W) x 12mm(L) x 5mm(T) or larger
5. Specimen movement range
1) X-axis : +/-10 mm or more
2) Y-axis : +/-3 mm or more
6. Specimen-rotation angle adjustment range : +/- 5° or more
7. Specimen Swing Angle : +/-30° or more, during milling condition
8. Operation : Touch panel
9. Positioning for milling : Position check with CCD camera
10. Positioning camera : ~ x1,000 mag. or more, should be integrated on the main body
11. Monitoring camera : ~ x100 mag. or more, should be integrated in the main body
12. Gas : Argon (Flow rate controlled by mass-flow controller)
13. Pressure measurement gauge
14. Main evacuation pump : Turbo-molecular pump
15. Backing pump : Rotary pump
16. Auto function : Auto start & stop