Hot wall type의 장비로서 플라즈마 상태에서 ±5℃의 온도 균일도 확보됨. 처리 시편에 대한 온도측정 가능함. 독특한 냉각시스템갖춤
200 kW이상의 출력을 가지고 있는 플라즈마 전원 보유. Bipolar type 전원시스템을 통해 우수한 코팅 특성 확보 가능함.
고경도 DLC 코팅층을 10 ㎛이상 성막 가능
뿌리장비 예약
장비 상세정보
| 장비사진 | 장비명 | 친환경 플라즈마 질화/코팅 장비(Environmental friendly triplex plasma hybrid coating system) | ||
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제작사 | Rubig | 모델명 | PN70_1200 DUO Flex |
| NTIS | NFEC-2015-07-203784 | E-TUBE | 1506-C-0264 | |
| 장비분류 | 공정장비 | 기술분야 | 열처리 | |
| 보유센터 | 시흥뿌리기술지원센터 | 장비상태 | 정상 | |
| 구축일 | 2015-06-02 | 구축비용 | 645,883,053원 | |
| 수수료 | 87,000원/hr | 바우처 사용 | 사용가능 | |
| 담당자 | 문경일 | 연락처 | ||
| 매뉴얼 |
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주요사항
원리 및 특징
? 진공상태에서 전기적인 여기 상태에서 플라즈마를 발생하여 환경친화적인 가스를 최소량 활용하여 질화와 DLC코팅을 진행할 수 있는 복합장비임. 최근 6가 크롬도금의 규제가 진행중인데 이를 산질화, DLC코팅으로 대체 가능하도록 할 수 있는 장치
사용예
지역 중ㆍ소형 부품 및 소재에 대해 가공, 측정 및 시험분석을 위해 장비로 소재를 이송하는데 사용되며 기술지원 및 시제품제작 지원시 활용
활용분야
• Maximum heating degree — 650°C
• Maximum vacuum rate — 15 mbar/min
• Plasma generator — Max 210Kw, 700V, 300A
• Gas supply — N2, H2, Ar, C2H2,
• Control methods : Electric control
(Temperature, Power, Gas, Pressure)
• Maximum vacuum rate — 15 mbar/min
• Plasma generator — Max 210Kw, 700V, 300A
• Gas supply — N2, H2, Ar, C2H2,
• Control methods : Electric control
(Temperature, Power, Gas, Pressure)