1. Optics
1) Polychromator/Focal length : 750mm or wider
2) Max. Channels : 60 or more (All channels have background correction and multi-scan)
3) Wavelength range : 120nm ~ 800nm or wider
4) Grating density : 3600groove/mm or wider(holographic standard)
5) Resolution : under 0.02nm (FWHM)
6) Polyscan function : yes
7) Cooling system : Closed Sample Cooler(온도에 미감한 샘플이나 얇은 시료에 최적화된 쿨링 장치)
8) 자동 온도 조절시스템(Temperature stability)
9) Gas Requirements : Argon, 99.999%, 6bar
10) Operating temperature and relative humidity : 10℃～30℃, 20%～80%
2. GD source
1) Direct current source(DC)
2) Radio frequency source(RF)
- Frequency : 5khz or 13.56Mhz
- Power : max. 150W, adjustable
3) Argon consumption
- Standby : 0(zero)litter/min
- During analysis : 0.2litter/min or less
4) Standard anode diameter : basically 2.5mm or 4mm, can be available 1mm, 2.5mm, 4mm, and 8mm for option

- 글로우 방전 분광기 표면 분석법(glow discharge spectrometer)은 벌크(bulk) 시료의 정성/정량분석과 코팅시료의 깊이방향 분석(depth profiling)이 가능하며 분석 시간이 빠르고 감도가 좋은 분석법임.

벌크 시편의 화학조성 분석 및 코팅 시편의 깊이방향(~100 um) 화학조성 분석이 가능하여 금속 합금(alloy)의 주원소 및 미량원소 정성 및 정량분석이 가능함. 특히 반도체 multi layer 시편의 depth profile(계면 분석 포함), 금속 시편의 질화, 탄화층 분석 및 금속 부식 층 분석이 가능함.

- 플랜트 설비, 장비 제작 및 유지보수부품 관련 산업인 해양플랜트, 조선, 철강 분야에 사용되어지는 다양한 제품의 표면처리 제품에 대한 기술개발 및 기술지원, 시제품평가에 활용이 가능함
- 기타 중소기업 기술지원 뿐만 아니라 다양한 소재개발 및 분석 등 다양한 기술개발 사업에서도 소재 및 부품의 표면 특성 분석 및 평가에 활용이 가능