- Work Space : 4,500(W) × 5,500(L) × 5,000(H)mm 이상
- R/P + B/P를 통한 1차 배기, T/P를 통한 2차 배기를 하여 고진공 상태
- Ultimate Pressure : < 5 x 10⁻⁶ Torr, 24Hr
- Pumping Speed : 대기압부터 5 x 10⁻³ZTorr까지 30분이내 가능
- Rotary Pump : 1600L/min
- Booster Pump : 600m³/H
- Turbo Pump : 2200L/s
- 챔버 최고 분위기 온도 : 최고 500℃
- Sheath Heater : (7kw x 3set) x 4positions
- Ar, O2 가스 등을 이용한 Cleaning
- Gun 사이즈 : 2120mm 이상

- 본 장비는 자동차, 산업기기, 절삭공구, 정밀기기등 다양한 분야에서 향후 활용도가 매우 높은 기술을 가진 시스템임.
- 일반적인 코팅 공정의 경우, 한종류의 빔(플라즈마)소스를 활용하여 코팅 공정을 진행하지만, 상기 시스템은 2종 이상의 (플라즈마) 소스를 활용하여 코팅이 가능

- 현재 시장에서의 경량소재 적용 증대로 인한 성형, 가공을 위한 금형 및 공구류의 코팅에 대한 필요성이 증가되고 있으며 그에 맞춘 경량합금 부품 내구성 및 내마모 향상을 위한 코팅 가능

- 사용에 따라 상온에서 코팅이 가능하며 열에 약한 소재에도 코팅이 가능하여 기계적, 광학적, 전기화학적 특성을 위한 코팅이 가능
- 의료, 기계, 장비 부품, 항공, 코스메틱등 다양한 분야에 활용가능.