○ Main body
- Operation and Analysis Software
- PSI(Roughness measure mode), VSI(Step height measure mode) and combined modes(PSI+VSI)
- Stitching, Advance High Speed Autofocus
- Accurate & Repeatable throughout a 10mm Scan Range
- Light Source : Dual LED(white light and green light) operated in combined or separate mode (Software control)
- 6 inch motorized XY stage
- Tip-Tilt in the system stage(+/- 6 degree)
- Multiplier 0.55x, 1.0x, 2.0x
- Vertical resolution: <0.01nm
- RMS Repeatability (PSI): <0.01nm
- Step Height Accuracy: <0.75%
- Repeatability (VSI): <0.8nm
- Standard Deviation of step average <10nm
- Vertical Scan Speed: 47 μm/sec max
- Film measurement: 100nm ~ 600μm
- Combined modes(PSI+VSI) scale : ≤ 0.3nm
○ High Speed Camera
- 4Vertical Scan Speed: 47 μm/sec max
- Resolution: 640×480
○ Objective magnification
- 2.5X, 5X, 10X, 20X, 50X, 100X
- Automated
○ Transparent Film thickness measurement function

○ 코팅 층의 손상 없이 표면 조도 측정, 곡면 측정, 표면 단차 측정, 피막 두께 측정, 표면 스크래치 등 결함 분석
○ 표면처리 공정인 표면 강화 및 경화, 레이저 클래딩, 표면 연마 공정 및 강판 및 비철금속 판재 등의 소성가공 공정 후 표면 및 피막의 정밀도 평가를 통한 신뢰성 검증
○ 다양한 소재개발 및 분석 등 다양한 기술개발 사업에서도 소재 및 부품의 표면 특성 분석 및 평가에 활용이 가능

○ 국가 뿌리산업의 경쟁력 강화와 지역산업(철강, 조선, 기계, 자동차 및 첨단부품소재) 기반 관련 표면처리 및 열처리 산업의 육성 및 글로벌 경쟁력 확보를 위해 필요한 분석을 위해 활용
○ 제철제강 및 플랜트 설비, 산업기계 및 장비 등 다양한 부품의 표면처리 및 소성가공 공정 후 피막조도 단차 및 피막 두께 측정 및 분석

○ 표면처리 공정인 표면 강화 및 경화, 레이저 클래딩, 표면 연마 시스템과의 연계 활용
○ 표면처리 후 피막 정밀도 평가를 통한 연구개발 지원 및 고신뢰성 평가 지원
○ 제철제강 판재, 금형 등 부품의 가공 및 소성가공 공정 후 표면의 훼손 없이 표면 개질 분석