1. HD Confocal & Interferometry Microscope
1) Confocal Scan Head and Stand
2) Auto-stage unit
- Scanning stage
- Tilting stage
3) Objective Lens (6ea)
- Confocal Objective 5x
- Confocal Objective 10x
- Confocal Objective 20x
- Confocal Objective 50x
- Confocal Objective 100x
- Interferometry Objective 20X (Mirau Type)
2. Control unit
- Controller and Workstation with 27 inch Monitor
- Joystick with Jog-dail and Control S/W
3. Confocal imaging, Analysis and metrology software
4. Active anti-vibration table (능동형 초정밀 제진대)

* 성능 및 규격(Performance and Specification)
1. 수직 분해능 : 0.1 nm 또는 동등 이상
2. 공초점 측정속도 (면) : 15Hz 이상
3. 광학 해상도 : 0.15㎛ 또는 동등 이상
4. 높이 측정 재현성 : 0.0002 ㎛ 또는 동등 이상
5. 수직분석기능 : 형상, 거리, 각도 거칠기 측정이 가능 할 것
6. 수평계측기능 : 자동 폭 측정, 평면계측, 평탄도 측정 등이 가능 할 것
7. 거칠기 측정 : ISO4287에 의거한 2차원 거칠기 Ra, Rz, Rp, Rv Rt, Rc, Rmr등이 가능 할 것
ISO25187에 의거한 3차원 거칠기 Sa, Sz, Sp, Sv St, Sc, Smr등이 가능 할 것
8. 측정원리 : Confocal and Interferometry방식의
Dual Core Imaging Profilometry 방식 일 것
9. Detail Specification of Main System
1) Microscope unit : Confocal & Interferometry Microscope
2) Multi function :
- HD Confocal scanning microscope
- Interferometry / 3D Surface Metrology microscope
- Interferometry capability : VSI & PSI & PSI (3 types)
- Capabilities : HD Imaging, HD 3D Topography, Profiles,
Coordinates, Thickness, Roughness, Volume, Surface
Texture, etc.
- Contrast modes : HD Confocal, HD Interferometry (PSI, VSI), HD Brightfield Color, Brightfield, Darkfield, Real Time HD RGB Confocal 기능이 있을 것
3) Camera : 2/3" CCD with 1360x1024 pixels, 35fps, 이상
Sequential color to Each ppixel in real color

1. 수직 분해능 : 0.1 nm 또는 동등 이상
2. 공초점 측정속도 (면) : 15Hz 이상
3. 광학 해상도 : 0.15㎛ 또는 동등 이상
4. 높이 측정 재현성 : 0.0002 ㎛ 또는 동등 이상
5. 수직분석기능 : 형상, 거리, 각도 거칠기 측정이 가능 할 것
6. 수평계측기능 : 자동 폭 측정, 평면계측, 평탄도 측정 등이
가능 할 것
7. 거칠기 측정 : ISO4287에 의거한 2차원 거칠기 Ra, Rz, Rp, Rv Rt, Rc, Rmr등이 가능 할 것
ISO25187에 의거한 3차원 거칠기 Sa, Sz, Sp, Sv St, Sc, Smr등이 가능 할 것
8. 측정원리 : Confocal and Interferometry방식의
Dual Core Imaging Profilometry 방식 일 것
9. Detail Specification of Main System
1) Microscope unit : Confocal & Interferometry Microscope
2) Multi function :
- HD Confocal scanning microscope
- Interferometry / 3D Surface Metrology microscope
- Interferometry capability : VSI & PSI & PSI (3 types)
- Capabilities : HD Imaging, HD 3D Topography, Profiles,
Coordinates, Thickness, Roughness, Volume, Surface

- 자동차 및 의료기기용 시제품의 표면 품질 및 신뢰성 분석 지원
- 3D 프린팅 분말 거동관련 분석을 통한 제작품의 불량 및 공정 개선에 활용
- 다양한 분야의 제작품 표면 품질 및 특성을 고속, 고분해능, 고정밀성으로 측정

- 접촉으로 인한 시편의 변형 및 파손이 없고 단시간 내 측정 가능한 광학 스캔 방식을 이용하기 때문에 열에 약한 고무 제품과 같은 고분자나 유기물, 의 측정에도 적합
- 플라스틱, 에멀젼 페인트, 종이, 코팅, 인쇄 잉크등에 함유된 이산화 티탄(TiO2) 분석이나 전자 장치 (패널 디스플레이, 회로 보드 및 케이스), 차량 및 건물 (시트, 가구, 창 및 벽), 섬유 (의류 및 직물) 및 왁스 또는 탄화수소 중합체와 같은 셀프 클리닝 표면/소수성 표면의 습윤 특성 분석 가능
- 물과 공기의 계면에서 소수성 표면의 물방울 바닥을 3D 이미징/분석 하며, 접촉방식으로는 측정하기 어렵거나 변형이 예상되는 습식 코팅막 등의 기타 재료의 나노구조 표면 측정에 활용 가능