A. 용도(End-user's Use)
1. This System should be able to analyze a large area with EBSD for texture mapping at heating sample. And it should be observed a large area at high tilt angle with minimum image distortion with the large depth of focus mode. Specially, high probe current for elemental analysis and EBSD analysis should be available to complying the optimum analysis condition with the variety user’s demands.

2. The Specimen Chamber should be designed to introduce a large specimen of 100mm and 40mm Height sample through he Airlock Chamber and also it should be designed to attach EDS and EBSD and those attachment shall be operated at the same time.

B. 장비의 구성(Configurations of Goods)
1. In-situ Field Emission Scanning Electron Microscope(주장비)
1) In-situ High Resolution Schottky FE-SEM 1 set
2) Evacuation system 1 set
3) Motor drive stage 1 set
4) Specimen exchange chamber 1 set
5) Ion Gun Power back-up system 1 set
6) Scanning & Display System 1 set

2. Dedicated accessories for In-situ FE-SEM(부속장비)
1) Retractable BSE detector 1 set
2) Probe current detector 1 set
3) Energy Dispersive X-ray Spectrometer 1 set
4) Electron Backscatter Diffraction Analysis System 1 set
5) Ar Ion-beam cleaner or plasma cleaner on in-situ FE-SEM 1 set
6) Color image stage navigation system 1 set
7) IR Chamber camera for chamber view 1 set
8) Standard Tool kit set 1 set
9) Consumable Parts
- Vacuum Grease 1 ea
- Specimen mount , 25D x 5H 20 ea
- Specimen mount 12.5D x 5H 20 ea
- Adhesive Tape(carbon) 5 ea
10) Cooling water circulator for FE-SEM 1 set
11) A.V.R for FE-SEM 1 set
12) Magnetron Sputtering system with Pt target 1 set

- 전계 방사 주사형 전자현미경(FE-SEM)은 일반 광학 현미경으로는 관측이 어려운 물질의 미세영역을 고분해, 고배율(최대배율 10배에서 100만배까지)로 확대하여 금속등 시료의 표면구조 및 형태를 확인할 수 있어서 모든 과학 분야의 재료 및 제품에 대한 연구 개발과 품질 관리 향상에 필수적인 기기이다.
- 전자총에서 방출된 전자빔을 집속시켜 시료 표면의 관찰영역을 주사하고 이 때 시료 표면에서 발생되는 여러 전자형태를 각종 검출기로 감지하여, 브라운관의 밝기로 변조시켜, 시료의 표면 형태 및 조성에 대한 각각의 영상을 얻어 출력할 수 있다.
- 전자빔을 방출 집속하는 전자 광학계, 시료실, 각종 검출기, 조작 테이블, 관찰 Monitor 및 출력 장치 등 여러 부품으로 이루어져 있다.

1. This System should be able to analyze a large area with EBSD for texture mapping at heating sample. And it should be observed a large area at high tilt angle with minimum image distortion with the large depth of focus mode. Specially, high probe current for elemental analysis and EBSD analysis should be available to complying the optimum analysis condition with the variety user’s demands.

2. The Specimen Chamber should be designed to introduce a large specimen of 100mm and 40mm Height sample through he Airlock Chamber and also it should be designed to attach EDS and EBSD and those attachment shall be operated at the same time.

- 금속, 세라믹 등 고상재료의 미세조직관찰 및 분석
- 제작된 합금의 미세구조 및 응고상 관찰
- 소프트웨어를 이용한 이미지 분석
- 제품 및 부품에 대한 정밀분석을 통한 대고객사 신뢰성 향상에 활용