1. 주요사양
1) Short length laser source of 405nm
2) Full automated nosepiece
3) 3-dimensional optical observation and analysis of digitalised image
4) Computerised adjustment of all microscopic system

2. 세부사양
1) Scan Head
① Light source: 405nm LD Laser
② Detection system: Twin confocal system
③ Total Magnification : 108x ~ 17,280x
④ Optical Zoom : 1x ~ 8x
⑤ Color observation Part：2 million pixel single CCD (digital Zoom 1x ~ 8x available)
⑥ Full automatic nosepiece
⑦ Differential interference contrast (Hardware DIC prism) unit <-하드웨어 미분간섭 필터 장비 자체 (하드웨어 DIC프리즘 장착)
⑧ Imaging slopes up to 85 degrees max
2) Objective lens (5x, 10x, 20x, 50x, 100x) ① Laser confocal, Laser DIC, BF/POL/DIC available
② 20X, 50X, 100X Objective lens designed exclusively for Laser Scanning Microscope
- Objective 5X（NA=0.15, WD=20mm)
- Objective 10X（NA=0.30, WD=11mm)
- Objective 20X（exclusive, NA=0.60, WD=1.0mm) 계구수 : 랜즈 피사체 ( NA: 해상도 생각NA = 0.5이상 WD : 워킹 디스턴스포커싱)
- Objective 50X（exclusive, NA=0.95, WD=0.35mm）
- Objective 100X（exclusive, NA=0.95, WD=0.35mm） ③ Field of View: 2,560 um ~ 16 um
3) Focusing Unit
① Z stroke: 100mm이상
4) XY Stage
① Method: Motorized Stage
② Stroke: 100mm x 100mm
③ Driving resolution: 0.5 um
④ Position reproducibility: 20 um
5) Guarantee of Accuracy and Repeatability
① Accuracy :
- Planar : measured value ±2%
- Height : 0.2+L/100 um or less (L=Measurement length)
② Repeatability:
- Planar : 3δn-1 = 0.02 um (100X lens)
- Height : δn-1 = 0.012 um (50X lens)
6) Software system
① Image resolution: 4,096 x 4,096 ~ 1,024 x 128 ( MAX　4000 x 4000　이상 )
② Image update rate: Laser: 4 to 32 fps
③ Z revolving nosepiece :Controlled using the UP/DOWN buttons or mouse wheel on the GUI
④ Image pasting Images can be pasted together up to 500 images
⑤ Automatic acquisition of line roughness data up to 100mm
⑥ Roughness parameter
- Line Roughness parameter: JIS2001/JIS1994 parameter
- Plane Roughness parameter: ISO25178
- Roughness filter: Gaussian filter and spline filter

장비의 특성 및 품질
상기 공초점 레이저 현미경은 기존의 광학 현미경과는 달리 레이저를 장착하여 기존의 할로겐 또는 수은 램프에서 얻을 수 없는 고 해상도의 이미지를 얻을 수 있다. 기존의 광학 현미경에 부착하여 레이저의 단파장성을 이용하여 특정 파장의 상태를 관찰함과 동시에 스캔장치에 부착된 핀홀을 이용하여 Out of focus가 없이 optical sectioning이 가능하다. 또한 Z축에 부착된 Z모터를 이용하여 샘플의 가장 윗부분부터 가장 낮은 부분까지 한 화면에 공초점 이미지를 얻을 수 있다. 실시간 영상분석 및 3차원 영상 분석을 소프트웨어에서 조절이 가능하게 하였을 뿐만 아니라, Real time imaging과 3차원 영상구현기술을 연구에 이용할 수 있는 최첨단의 장비이다.

사용예

- 3D표면조도측정기의 적용 분야는 다양하며 자동차, 기계, 전기전자 제조업체들이 생산하는 제품의 표면 물성을 평가하기 위해 사용하며 주요 용도는 아래와 같음
- 표면의 형상과 구조를 측정
- 측정 시 넓은 측정 영역 및 정밀 데이터의 측정 가능
- 정밀부품의 표면형상 측정
- 미세 표면 거칠기 및 단차 측정
- 마이크로 형상정확도 및 변형율 측정
- 표면 조도 측정
- 표면처리부 및 영향부의 변화 측정

○ 기계부품, 금형 등의 표면조도, 마모형상, 피로파면 3D 프로파일/표면 측정 장비
- 금형 및 기계 부품들의 정량적인 수명평가를 위해 요구되는 기초 데이터 확보에 활용
- 금형/제품의 조도 및 형상 프로파일 정밀 측정을 통해 공정해석 데이터로 활용
- 고정밀 시험분석 기술지원을 통한 중소중견기업의 불량률 저감 및 생산효율 향상
- 기술고도화를 위한 기초분석기술지원에 활용