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뿌리장비 예약(상세정보)

뿌리장비 예약

장비 상세정보

X선 광전자분석기(X-ray Photoelectron Spectroscope)

X선 광전자분석기(X-ray Photoelectron Spectroscope) 상세 정보
장비사진	장비명	X선 광전자분석기(X-ray Photoelectron Spectroscope)
	제작사	Thero VG Scientific	모델명	Sigma Probe
	NTIS	NFEC-2015-05-202132	E-TUBE	1504-B-0116
	장비분류	분석장비	기술분야	표면처리
	보유센터	부산뿌리기술지원센터	장비상태	정상
	구축일	2015-04-24	구축비용	806,600,363원
	수수료	70,000/건, 150,000/건 (Depth profiling)	바우처 사용	사용가능
	담당자	권아람	연락처	051-987-9202
	매뉴얼	첨부파일 없음

주요사항

? 시료 처리실: 표준물질의 증착, 오염된 고체표면의 컷팅, 온도제어, 가스처리 등
? 측정실 : 시료를 여기시키는 전원, 시료로부터 방출되는 광전자의 에너지를 분별하는 에너지 분석기, 전자검출기로 구성

본 장치는 X선을 시료에 조사 시 광전자가 방출되는 현상을 이용하여 광전자 운동에너지를 분석함으로써 금속, 촉매, 반도체소자재료, 세라믹스, 박막, 고분자피막 등시료표면층(Surface layer, 약 50-100micron)에 분포되어 있는 원소를 정성 및 정량분석함.

원리 및 특징

○ Photoelectron을 detect하면 kinetic energy를 얻을 수 있으며, 전자가 가지
는 Binding energy를 계산

사용예

• 표면처리 시험편의 정량분석 및 화학적 상태 측정
• 표면 두께별 정량/정성 분석 (Depth Profiling)
• 유기물, 무기물 정량/정성 분석

장비 설명

활용분야

• Type : Spherical sector analyzer 180 degree
• Mean radius : 275 mm
• Detector : Multi channeltron detector UHV Analysis Chamber
• UHV vacuum : 5 x 10-10 mba MonochromatorX-Ray source (Mg/Al)
• Type : Microfocused monochromator source
• Electron gun : 15kV Flood gun
• Low energy for charge compensation Ion source
• Energy range : 0.1KeV to 4KeV, continuously variable
• Max. beam current density : 3mA/cm2 or equivalent
• Min. beam diameter : 200 ㎛ or equivalent
• REELS Option : Hydrogen detection, Carbon status confirmation, etc
• ISS (Ion Scattering Spectroscopy) Standard

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